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硅烷

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硅烷

  • 详细介绍

Silane 硅烷(SiH4

Total Purity 纯度≥99.9999%

气相杂质Vapor Phase Impurities

Contaminants杂质


Specifications(ppm)规格

O2+Ar

Oxygen+Argon氧氩

<0.05

Total Chlorosilane

Total Chlorosilane总氯硅烷

<0.15

Disilane

Disilane乙硅烷

<0.5

CO2

Carbon Dioxide二氧化碳

<0.05

CO

Carbon Monoxide一氧化碳

<0.05

He

Helium氦气

<1

N2

Nitrogen氮气

<1

H2

Hydrogen氢

<20

O2

Oxygen氧

<0.05

CH4

Methane甲烷

<0.05

Carbon

Carbon碳

<0.2

Disiloxane

Disiloxane二硅氧烷

<0.5

Methylsilane

Methylsilane甲基硅烷

<0.5

As

Arsenic砷

<0.005ppb

B

Boron硼

<0.02ppb

P

Phosphorus磷

<0.02ppb

K

Potassium钾

<10

Resistivity

Resistivity电阻系数

>10000ohm-cm

H2O

Moisture水

<0.5

包装规格Standard Package Information

Cylinder Type气瓶规格

47L、Ton-cylinder、20ft ISO-Container、40ft ISO-Container

Fill Weight充装量

10kg、100kg、2000kg、4000kg

Valve Connection阀门

JIS22L、CGA-632、CGA-350

 


本文网址:http://www.gdtrans.cn/product/681.html

关键词:南京标准气体,南京高纯气体,南京电子气体

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