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电子混合气体

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电子混合气体

  • 详细介绍

电子混合气体

气体组分和用途

组分气体

平衡气

用途

硅烷SiH4

He、氩Ar、氢H2、氮N2

外延(生长)

四氟化碳CF4

O2

常用蚀刻

乙硼烷B2H6

He、氩Ar、氢H2、氮N2

掺杂P气

磷烷PH3

He、氩Ar、氢H2、氮N2

掺杂N气

磷烷PH3

硅烷SiH4

其他

乙硼烷B2H6

硅烷SiH4

硅烷SiH4

He、氩Ar、氢H2、氮N2

乙硼烷B2H6

He、氩Ar、氢H2、氮N2

磷烷PH3

He、氩Ar、氢H2、氮N2

砷烷AsH3

He、氩Ar、氢H2、氮N2

锗烷GeH4

He、氩Ar、氢H2、氮N2

包装规格 Standard Package Information

气瓶规格

4L、8L、40L、44L

充装量

压力和重量不定

阀门

CGA-350/330、QF-21


本文网址:http://www.gdtrans.cn/product/677.html

关键词:南京标准气体,南京高纯气体,南京电子气体

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